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打破技術(shù)封鎖 國(guó)產(chǎn)高端儀器取得重大進(jìn)展

發(fā)布時(shí)間:2025-6-30     來(lái)源:科技日?qǐng)?bào)    編輯:衡盛楠    審核:張經(jīng)緯 王靜

628日,蘇州博眾儀器科技有限公司(以下簡(jiǎn)稱博眾儀器)發(fā)布國(guó)產(chǎn)首臺(tái)商用200千伏場(chǎng)發(fā)射透射電子顯微鏡BZ-F200。該顯微鏡的點(diǎn)分辨率達(dá)到0.25納米,晶格分辨率達(dá)到0.14納米,能夠直接分辨絕大多數(shù)材料的晶格結(jié)構(gòu)。

 

透射電子顯微鏡是一種高分辨率的微觀分析儀器。顯微鏡中的電子束穿透樣品后,會(huì)攜帶樣品內(nèi)部結(jié)構(gòu)信息,這些信息經(jīng)過(guò)放大系統(tǒng)成像后,可放大百萬(wàn)倍,從而幫助使用者觀察原子級(jí)圖像。透射電子顯微鏡廣泛應(yīng)用于納米級(jí)的研究與觀測(cè),是材料科學(xué)、生命科學(xué)和半導(dǎo)體等領(lǐng)域研究所必需的高端儀器設(shè)備。

BZ-F200的研發(fā)歷時(shí)5年。博眾儀器技術(shù)總監(jiān)梁晶博士介紹,此前,高端透射電鏡產(chǎn)業(yè)長(zhǎng)期被國(guó)外儀器公司壟斷,核心零部件受到國(guó)外技術(shù)封鎖,針對(duì)這項(xiàng)痛點(diǎn),博眾儀器陸續(xù)實(shí)現(xiàn)了熱場(chǎng)電子槍、超高穩(wěn)定度電源、熱場(chǎng)電子源、精密加工鏡筒、納米級(jí)測(cè)角臺(tái)等核心零部件的自主生產(chǎn),并在用戶先期試用中得到驗(yàn)證。

梁晶介紹,該顯微鏡主要聚焦材料研發(fā)以及前沿科學(xué)領(lǐng)域,適用于晶格尺度的結(jié)構(gòu)解析、缺陷分析、界面表征以及成分分析等研究。

經(jīng)過(guò)5年的技術(shù)攻關(guān)與反復(fù)錘煉,我們已將BZ-F200從整機(jī)到每一個(gè)關(guān)鍵零部件的全鏈條核心技術(shù)牢牢掌握在自己手中。博眾儀器總經(jīng)理唐愛權(quán)表示。

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